微制造与纳米技术 [印]N.P.马哈里克等著 蔡艳等译

微制造与纳米技术 [印]N.P.马哈里克等著 蔡艳等译

出版社:机械工业出版社
出版时间:2015年08月



《微制造与纳米技术》一书主要介绍了微机电系统（MEMS）、微光机电系统（MOEMS）、激光技术在微制造中的应用、平版印刷术、体和表面微加工、纳米修整、误差补偿、碳纳米管、微能源化学系统、燃料电池、空间推进微结构、生物传感器等内容。书中用大量的数据、公式、图表和应用实例阐述了微制造与纳米技术的概念、理论、原理、设计思路、工艺、方法以及应用和前景等。

译丛序言
译者的话
前言
第1章导论
1.1背景介绍
1.2概述
1.2.1精密工程
1.2.2微铣削和微型钻孔
1.3微机电系统
1.4微电子制造方法
1.4.1体微加工
1.4.2表面微加工
1.5微型化仪器
1.6微机械电子
1.7纳米修整
1.8光变图像
1.9微能源和化学系统
1.10空间微推进
1.11电子束纳米印刷
1.12纳米技术
1.13碳纳米管及其结构
1.14分子逻辑门
1.15纳米尺度生物传感器
1.16C60及其衍生物的化学交联
1.17燃料电池
1.18参考文献
第2章微机电系统与微光机电
系统原理2.1概述
2.2执行器的驱动原理
2.3制造工艺
2.4机械微机电系统
2.4.1机械传感器
2.4.2加速度计、悬臂式
传感器和电容测量
2.4.3扬声器
2.4.4陀螺仪
………………