微细加工技术在国内外发展趋势的研究

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发表于 2013-6-3 18:28:22 | 显示全部楼层 |阅读模式

微细加工技术在国内外发展趋势的研究

摘要：研究了国内外微细加工技术的发展状况，基于!"!#器件的微细加工技术，提出了在低电位、微电流密度下电化学钝化效应基础上，用高频振动效应消除钝化，用与高频振动同频同步的窄脉冲电流电解作用去除机体材料，实现电解复合微细加工，这是微细加工技术的新构想及发展趋势。

关键词：器件高频振动窄脉冲电流电解复合微细加工

微细加工技术在国内外发展趋势的研究.rar(160.12KB)
链接: http://pan.baidu.com/s/1kUP42kJ 密码: hmng

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