查看: 3060|回复: 0

纳米级精细线条图形的微细加工

1152 主题	712 回帖	14万积分

版主

UID: 7
威望: 30
机械币: 28410
活力: 108

发消息

发表于 2013-6-4 10:20:02 | 显示全部楼层 |阅读模式

纳米级精细线条图形的微细加工

摘要：对分辨率极高的电子束光刻技术和高选择比、高各向异性度的ICP刻蚀技术进行了研究，形成一套以负性化学放大胶SAL-601为电子抗蚀剂的电子束光刻及ICP刻蚀的优化工艺参数，
并利用这些优化参数结合电子束邻近效应校正等技术制备出剖面形貌较为清晰的30nm精细线条图形.

关键词：微细加工；电子束光刻；邻近效应校正；ICP刻蚀

纳米级精细线条图形的微细加工.rar(301.36KB)
链接: http://pan.baidu.com/s/1i5k7qWP 密码: yke4

加工, 纳米, 电子, 分辨率, 校正

		自动登录	找回密码
密码			立即注册

纳米级精细线条图形的微细加工

相关帖子

活跃会员

村牛人

优秀版主

虎

巨蟹座

北京地区勋章