国际机械工程先进技术译丛 微机电系统设计与加工 张海霞 赵小林等译

国际机械工程先进技术译丛 微机电系统设计与加工 张海霞 赵小林等译



本书是MEMS系列图书的一本，主要介绍MEMS技术中材料和加工方面的知识。内容包括：MEMS中的材料，MEMS制造，LIGA及其微模压，基于X射线的加工，EFAB技术及其应用，单晶SiC MEMS制造、特性与可靠性，用于碳化硅体微加工的等离子体反应深刻蚀，聚合物微系统：材料和加工，光诊断方法考察微流道的入口长度，应用于航空航天的微化学传感器，恶劣环境下的MEMS器件封装技术，纳机电系统制造技术，分子自组装基本概念及应用。
本书主要面向MEMS专业的高年级本科生和研究生，也可供MEMS技术研究人员参考。

译丛序言
译者序
第1章 绪论
参考文献
第2章 MEMS中的材料
2.1 简介
2.2 单晶硅
2.3 多晶硅
2.4 二氧化硅
2.5 氮化硅
2.6 锗基材料
2.7 金属
2.8 碳化硅
2.9 金刚石
2.10 Ⅲ-V材料
2.11 压电材料
2.12 结论
参考文献
第3章 MEMS制造
3.1 湿法体微加工工艺
3.2 历史沿革
3.3 硅晶体学
3.4 硅衬底
3.5 硅作为机械材料在MEMS中的应用
3.6 硅的其他传感特性
3.7 湿法各向同性及各向异性腐蚀
3.8 半导体在偏压和光照作用下的腐蚀
3.9 腐蚀停止技术
3.10 湿法体硅微加工工艺
3.11 计算机模拟软件
3.12 湿法体微加工实例
3.13 表面微加工简介
3.14 表面微加工工艺的历史沿革
3.15 薄膜的机械特性
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