微细加工与装备技术进展

扫地僧

微细加工与装备技术进展

摘要 讨论微细加工与装备技术现状,介绍刻蚀技术、LIGA技术和准LIGA技术、微细特种加工等典型的微细加工工艺原理与技术特点,并指出各种加工方法的优缺点,分析微细加工技术的发展走向及装备技术的发展趋势。

关键词:微细加工 装备 发展趋势





微细加工与装备技术进展.rar(174.59KB)
链接: http://pan.baidu.com/s/1csTeiy 密码: 4sb3